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J-GLOBAL ID：200903045676504779

樹脂組成物層の乾燥方法、この乾燥方法を用いたカラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示素子

Inventor： 坂本 淳一 ,  須藤 正法 ,  岩田 研逸 ,  小佐野 永人
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 西山 恵三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999366751
Publication number (International publication number)：2000241623
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面に異物、ピンホールおよび材料凝集等の欠陥がなく、プロセス滞留時間が長くても現像特性の優意な劣化がない樹脂組成物を形成する。【解決手段】 基板上に樹脂組成物を塗布、乾燥する樹脂組成物層の乾燥方法において、前記乾燥方法が真空乾燥であり、その時の乾燥条件が真空乾燥100Torrまでは6秒以上をかけて排気する。

Claim (excerpt)：

基板上に樹脂組成物を塗布し、乾燥する樹脂組成物層の乾燥方法において、前記乾燥する方法が真空乾燥であり、その時の乾燥条件が真空度100Torrまで6秒以上の時間をかけて排気することを特徴とする樹脂組成物層の乾燥方法。

IPC (4)：

G02B 5/20 101 ,  B05D 3/12 ,  F26B 5/04 ,  G02F 1/1335 505

FI (4)：

G02B 5/20 101 ,  B05D 3/12 A ,  F26B 5/04 ,  G02F 1/1335 505