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J-GLOBAL ID：200903045708817014
位置読取り可能なマクロ検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031061
Publication number (International publication number)：1993223521
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：
【要約】【目的】 マクロ検査機で試料の欠陥を見つけた場合、その欠陥位置を正確に読取りできるようにする。【構成】 試料を照射する検査光投光ユニット1と、試料Sの後方に配置される傾斜自在な傾斜試料台2と、該傾斜試料台2に一体に取付けられたスポット投影ユニット4および測長器付き X-Yステージ3とからなり、該 X-Yステージ3を X-Y軸方向に移動せしめて試料の欠陥部に前記スポット投影ユニット4を合致せしめると共に、前記ステージの移動量を自動的に計測して欠陥部を表示する。
Claim (excerpt)：
石英ウエハや LCDなどの透明な試料基板に光を照射し、裸眼で試料表面の傷、ごみ、膜厚むら等を検出するマクロ検査装置において、試料を保持する枢動自在な傾斜試料台と、該傾斜試料台の底部に設けられ試料に対向して X,Y軸方向にそれぞれ移動可能なステージと、該ステージの X,Y軸方向それぞれの移動量を読取る読取器と、ステージに一体的取り付けられ試料面を照射するスポット投影ユニットとからなり、前記ステージを X,Y軸方向に移動せしめて試料の欠陥部にスポットを合致せしめことで、前記ステージの移動量を前記欠陥部の座標位置として表示することを特徴とする位置読取り可能なマクロ検査装置。
IPC (4)：
G01B 11/00
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, G12B 5/00
