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J-GLOBAL ID:200903045723500981

除塵装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉井 昭栄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991171351
Publication number (International publication number):1993015862
Application date: Jul. 11, 1991
Publication date: Jan. 26, 1993
Summary:
【要約】【構成】 イオン化エアーを射出するノズル1を除塵するワーク2に向けて配設し、このノズル1より射出されるイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエアー制御機構をエアー供給側に設けた除塵装置。【効果】 イオン化エアーをねらったワーク2に的確に吹き付けることができ、しかもこのイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめて圧力差をつけてワーク2に吹き付けるため、単なる吹き付けに比し著しい除塵効果を発揮し、特に小さいものでありながら微細な塵を完全に除塵することが要望されている電子部品の除塵に極めて秀れた除塵装置となる。
Claim (excerpt):
イオン化エアーを射出するノズルを除塵するワークに向けて配設し、このノズルより射出されるイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエアー制御機構をエアー供給側に設けたことを特徴とする除塵装置。
IPC (2):
B08B 6/00 ,  B08B 5/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭59-150585
  • 特開昭63-156584

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