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J-GLOBAL ID:200903045749876505

超高圧水銀ランプおよびその電極

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 役 昌明 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999311572
Publication number (International publication number):2001135272
Application date: Nov. 01, 1999
Publication date: May. 18, 2001
Summary:
【要約】【課題】 高頻度で点滅して使用される超高圧水銀ランプの電極の消耗を低減して、長寿命かつ高効率の露光装置等に使用する超高圧水銀ランプおよびその電極を提供すること。【解決手段】 発光管2内に対向して配置された1対の電極の先端部を、半球状、電極先端部の半径の約1.5倍の長径を有する楕円等の凸状曲面に加工することにより交流点灯式超高圧水銀ランプおよびその電極を得る。
Claim (excerpt):
両端に1対の円柱状の電極を対向して配置し、内部に希ガスを封入した発光管を有する項交流点灯式の超高圧水銀ランプにおいて、前記各電極の先端部の半径をrとするとき、前記電極先端から管軸方向にr〜約1.5rの部分を、半径rの半球状と長径が約1.5r楕円曲面とで囲まれる範囲の弾頭状の緩やかな凸状曲面に形成することを特徴とする超高圧水銀ランプ。
F-Term (1):
5C015JJ06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平4-280057
  • 特開平3-283253

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