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J-GLOBAL ID：200903045763496588

選択的コーティングによるセラミック体の製造方法

Inventor： クオ-チョアン リウ ,  マイケル ジー リー ,  ウェン-チョウ ヴィンセント ワン
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001114494
Publication number (International publication number)：2002008939
Application date： Apr. 12, 2001
Publication date： Jan. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、選択的コーティングを使用したセラミック体の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 本発明によれば、セラミック原料溶媒は、マスク層内及び導電材上で析出される。ゲル材は、析出したセラミック原料溶媒から形成され、セラミック体はゲル材から形成される。

Claim (excerpt)：

マスク層の開口内及び第1の導電体上にセラミック原料溶剤を析出させる工程と、析出したセラミック原料溶剤からゲル体を形成する工程と、ゲル体からセラミック体を形成する工程と、セラミック体上に第2の導電体を形成する工程と、を有する方法。

IPC (5)：

H01G 4/12 400 ,  H01G 4/12 394 ,  H01L 23/12 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/24

FI (5)：

H01G 4/12 400 ,  H01G 4/12 394 ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 41/22 A ,  H01L 23/12 B

F-Term (11)：

5E001AC04 ,  5E001AH00 ,  5E001AH03 ,  5F083FR01 ,  5F083JA02 ,  5F083JA06 ,  5F083JA14 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43