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J-GLOBAL ID：200903045789100887
硬質炭素膜、薄膜二端子素子及びこれを用いた液晶表示装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
友松 英爾 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994254374
Publication number (International publication number)：1996095505
Application date： Sep. 22, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 内部応力の少ない硬質炭素膜と該硬質炭素膜を使用した薄膜二端子素子、およびこれら硬質炭素膜と薄膜二端子素子を利用することで高性能、低コスト、高信頼性の液晶表示装置の提供。【構成】 第一導体7と第二導体6の間に絶縁層2を介在してなる薄膜二端子素子において、前記絶縁層2が、応力が500MPa以下であり、かつ炭素と水素を主要構成要素とした非晶質状態、あるいは微結晶を一部含む非晶質状態の硬質炭素膜であることを特徴とする薄膜二端子素子。
Claim (excerpt)：
炭素源ガスと希ガスおよび/または水素ガスの混合ガスより気相合成して製造した硬質炭素膜。
IPC (3)：
G09F 9/35 303
, G02F 1/136 505
, H01L 49/02
