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J-GLOBAL ID：200903045798463321

電界検出装置

Inventor： 植田 敏嗣 ,  杉山 直 ,  林 尚典
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996249419
Publication number (International publication number)：1998090371
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】サブミクロンの空間分解能が得られる電界検出装置を実現する。【解決手段】電界により物理的状態が変化する電気光学効果を有するプローブを集積回路基板に近接させ、前記集積回路により生じる電界により変化する物理的状態をレーザ光を利用し光学的に検出する手段を備え、非接触で前記電界を検出することのできる電界検出装置において、前記プローブの下面の一部分に、導電体から形成された針状部材を取り付け、この針状部材の上面内に前記レーザ光を集光し、かつその面より反射させるように構成する。

Claim (excerpt)：

電界により物理的状態が変化する電気光学効果を有するプローブを集積回路基板に近接させ、前記集積回路により生じる電界により変化する物理的状態をレーザ光を利用し光学的に検出する手段を備え、非接触で前記電界を検出することのできる電界検出装置において、前記プローブの下面の一部分に、導電体から形成された針状部材を取り付け、この針状部材の上面内に前記レーザ光を集光し、かつその面より反射させるように構成したことを特徴とする電界検出装置。

IPC (2)：

G01R 31/302 ,  H01L 21/66

FI (2)：

G01R 31/28 L ,  H01L 21/66 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 電気信号測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-198360   Applicant：日本電信電話株式会社