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J-GLOBAL ID：200903045811653747

感光性樹脂組成物

Inventor： 角田 真由美
Applicant, Patent owner： 東芝ケミカル株式会社
Agent (1)： 諸田 英二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995271868
Publication number (International publication number)：1997090630
Application date： Sep. 26, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【構成】 本発明は、ポリイミド樹脂の全酸成分のうち50mol%以上が、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸成分であり、全ジアミン成分のうち50mol%以上が、芳香族エーテルジアミンからなるもので、かかる(A)ポリアミック酸、(B)ミヒラーケトンのような光反応性重合開始剤および(C)エポキシアクリレートのような重合性モノマー又はオリゴマーを必須成分としてなる光感光性樹脂組成物である。【効果】 本発明の感光性樹脂組成物は、感光性、密着性、加工性に優れ、比較的低温においても十分な成膜性を有するもので、半導体素子の保護膜や層間絶縁膜、FPC用のみならずディスクリート分野にも好適である。

Claim (excerpt)：

(A)次の一般式で示されるポリアミック酸樹脂であって、【化1】(但し、式中R1 は 4価の有機基を、R2 は 2価の有機基を、nは0 又は1 以上の整数をそれぞれ表す)(a)R1 を構成する全酸成分のうち50mol%以上が、次の一般式で示されるジフェニルエーテルカルボン酸成分であり、【化2】(b)R2 を構成する全ジアミン成分のうち50mol%以上が、次の一般式(i)若しくは(ii)で示されるジアミン化合物であるもの、【化3】(但し、式中Xは-CH2 -、-O-、-C(CH3 )2 -、-SO2 -または-C(CF3 )2 -を表す)(B)光反応性重合開始剤および(C)重合性モノマー又はオリゴマーを必須成分としてなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/037 501 ,  C08L 79/08 LRC ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (7)：

G03F 7/037 501 ,  C08L 79/08 LRC ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R