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J-GLOBAL ID：200903045816098245

光偏向装置

Inventor： 上田 路人 ,  塩野 照弘 ,  伊藤 達男 ,  横山 和夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996062364
Publication number (International publication number)：1997258122
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 従来の技術の光偏向装置は2レベルの回折格子として作用とするため、出射光として用いられる1次回折光の回折効率は41%と低く、光の利用効率がきわめて低かった。【解決手段】 平板1に凹凸を形成し、その凸部に並列して中空に支持された梁6を形成し、いずれか1方の梁6を平板1側に吸引したときに断面が4段の階段形状となる新規構造により、4レベルの回折格子として作用し、81%の高い回折効率で1次回折光が出射されるため、極めて光利用効率の高い光偏向装置を実現できる。

Claim (excerpt)：

平板と、該平板上に形成された支持体と、該支持体に両端を支持され、周期的に配置された複数の梁と、1本おきの該梁の間に形成された凸起と、該平板と該複数の梁のいずれか一方に形成され、交互に周期的に配置された第1及び第2の電極と、他方に形成された第3の電極とからなり、該第1電極及び/または該第2電極と、該第3電極との間に印加する電圧を調整することにより該梁と該平板との距離を変化させ、出射する光の方向を変化させることを特徴とする光偏向装置。