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J-GLOBAL ID：200903045820099817

レーザ加工装置

Inventor： 加茂 裕康
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997278001
Publication number (International publication number)：1999104873
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：

【要約】【課題】 装置の周辺温度の変動に伴う加工精度の低下を防止することのできるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 本レーザ加工装置は、加工レーザ光源1と、被加工物であるウェハ11を光軸方向(Z方向)及び光軸垂直方向(X、Y方向)に移動させるステージ20、13を備える。加工レーザ光のオートフォーカス機構の制御回路2に、装置周辺の気温変動によるフォーカス位置変動を自動補正するオートフォーカス温度補正部31を設けた。

Claim (excerpt)：

被加工物にレーザ光を照射して加工する装置であって;加工レーザ光のオートフォーカス機構と、装置周辺の気温変動によるフォーカス位置変動を自動補正するオートフォーカス温度補正部と、を具備することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4)：

B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  G02B 7/28

FI (4)：

B23K 26/04 C ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/08 D ,  G02B 7/11 M