Pat

J-GLOBAL ID：200903045823957865

平面研磨装置におけるキャリヤの洗浄装置

Inventor： 平 田 和 彦
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 林 宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998074827
Publication number (International publication number)：1999254300
Application date： Mar. 09, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 平面研磨装置におけるワーク保持用キャリヤに付着した研磨材スラリー等の付着物を簡単且つ確実に洗い流すことができる洗浄装置を得る。【解決手段】 キャリヤ3を洗浄液に浸漬した状態で収容するための洗浄槽11の内部に、キャリヤ3の下面のリテーナリング6と対向するようにバブリング用のエアノズル15を設けると共に、キャリヤ下面のリテーナリング6に接するように毛先の高さが異なる下面ブラシ18a,18bを上向きに設け、更に、キャリヤ3の外周面に接するように側面ブラシ25を横向きに設ける。

Claim (excerpt)：

キャリヤの下面に取り付けられたリテーナリング内にディスク形ワークを保持させ、該ワークを回転する定盤に押し付けて研磨する平面研磨装置における、上記キャリヤを洗浄するための洗浄装置であって、上記キャリヤを洗浄液中に浸漬した状態で収容するための洗浄槽と、上記洗浄槽内に洗浄液を充填するための給液ノズルと、上記洗浄槽の内部に、上記キャリヤの下面の少なくともリテーナリングと対向するように配設されたエア噴出用のエアノズルと、上記洗浄槽の内部に、上記キャリヤの下面のリテーナリングに摺接するように上向きに配設された少なくとも1つの下面ブラシと、上記洗浄槽に、上記キャリヤの外周面に接するように横向き配設された少なくとも1つの側面ブラシと、を有することを特徴とする平面研磨装置におけるキャリヤの洗浄装置。

IPC (3)：

B24B 37/00 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 622

FI (3)：

B24B 37/00 Z ,  B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 622 P