Pat
J-GLOBAL ID：200903045827098794
液晶表示パネル用配向膜の洗浄方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992159701
Publication number (International publication number)：1994003671
Application date： Jun. 18, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】液晶表示パネルに形成した配向膜を低下させないことを目的とする。【構成】カラーフィルタ側の基板の表面に形成した配向膜や、基板の表面にTFTなどを形成し、その上に形成した配向膜の表面を洗浄するに当たり、洗浄液として純水を用いて洗浄し、その後、スピンドライ方式、エアーナイフ方式など物理的乾燥方法で乾燥することを特徴とする。【効果】配向力が低下せず、従って、幅広く液晶材料が使え、熱処理の程度が軽く済み、熱ダメージによる不良、配向力不足による不良を防ぐことができる。
Claim (excerpt)：
基板に形成した配向膜の表面を洗浄するに当たり、洗浄液として純水を用いて洗浄し、その後、物理的乾燥方法を用いて乾燥させることを特徴とする液晶表示パネル用配向膜の洗浄方法。
IPC (2)：
G02F 1/1337
, H01L 21/304 351
