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J-GLOBAL ID：200903045848464260

スパッタ膜、液晶素子及びこれらの製造方法

Inventor： 沢村 光治
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074792
Publication number (International publication number)：1998265952
Application date： Mar. 27, 1997
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 カラーフィルタ上に有機樹脂からなる保護膜を設けた液晶素子基板の該保護膜上に、枚葉式スパッタ装置によりITO膜を成膜する際に、異常放電によるターゲットや基板の損傷を防止し、且つ成膜時に上記保護膜から発生するガスによるITOの膜質低下を防止する。【解決手段】 80〜120MHzのVHF高周波電力にDC電力を重畳してターゲットに印加し、スパッタを行なう。

Claim (excerpt)：

少なくとも、一つ以上の基板搬入搬出室、一つ以上のスパッタ室、及び該基板搬入搬出室とスパッタ室との間を連絡する搬送室を備えた枚葉式スパッタ装置を用いたスパッタ膜の製造方法において、上記スパッタ室内のターゲットに、VHF帯の周波数を有するVHF高周波電力を印加してスパッタを行なうことを特徴とするスパッタ膜の製造方法。

IPC (6)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (6)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 S ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S