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J-GLOBAL ID：200903045853047111

研磨装置

Inventor： 関 田 三 郎
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Agent (1)： 蔵合 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996332117
Publication number (International publication number)：1998166264
Application date： Dec. 12, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ウエハの研磨を効率良く行い、生産性を高める。【解決手段】 研削後のウエハを吸着して回転する研磨ヘッド302〜305と、各研磨ヘッドを回転可能に支持するインデックステーブル327と、インデックステーブルをウエハ着脱・洗浄位置P4、P5とウエハ研磨位置P6、P7とに位置決めするテーブル駆動部301とを備え、各研磨ヘッドは、ヘッドの回転を独立に制御する研磨ヘッド駆動部307〜310と、ウエハを吸着して下方の定盤400に対する加圧力を独立に制御する吸引・加圧部311〜314を備える。

Claim (excerpt)：

研削後のウエハを吸着して独立に回転する複数の研磨ヘッドと、各研磨ヘッドを回転可能に支持するインデックステーブルと、インデックステーブルをウエハ着脱・洗浄位置とウエハ研磨位置とに位置決めするテーブル駆動部とを備えた研磨装置。

IPC (3)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/68

FI (3)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 H ,  H01L 21/68 P