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J-GLOBAL ID：200903045873864833

熱遮蔽体

Inventor： 奥井 正彦
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995122833
Publication number (International publication number)：1996319190
Application date： May. 22, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【構成】 黒鉛と、黒鉛よりも光透過率の大きな材料(20)とで構成された熱遮蔽体19。【効果】 単結晶6の熱履歴を制御し、高品質の単結晶6を得ることができ素子形成時の酸化膜耐圧特性を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

黒鉛と、黒鉛よりも光透過率の大きな材料とで構成されることを特徴とする熱遮蔽体。

IPC (5)：

C30B 15/00 ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/14 ,  C30B 29/06 502 ,  F16L 59/02

FI (5)：

C30B 15/00 Z ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/14 ,  C30B 29/06 502 C ,  F16L 59/02