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J-GLOBAL ID：200903045890193853

光学構成要素の検査装置

Inventor： エプスタイン シェルドン エル ,  ゴア リチャード ジー
Applicant, Patent owner： ウェズリー ジェッセン コーポレイション
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995505887
Publication number (International publication number)：1997504095
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：

【要約】光学構成要素の特徴の高コントラスト像を形成する装置が提供される。本発明の装置においては、光は、光学構成要素を通って、イメージセンサー装置の検出器に到達する前に収束される、さらに、試験中、光学構成要素を適当な位置に保持し配置する新規なキユベットが提供される。キユベットは、光学構成要素を適当な位置に保持するのに重力を利用するため凹状湾曲内面を備えた底部分を有している。

Claim (excerpt)：

A)光学構成要素の像を感知する、検出器を備えたイメージセンサー装置; 及び B)光学構成要素を通る光を、イメージセンサー装置の検出器に達する前に 収束する収束装置 を有していることを特徴とする、光学構成要素の特徴の高コントラスト像を形成する装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-363648
  
• 面状態検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-225988   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平4-321186
  
• 眼レンズを搬送するための装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-344809   Applicant：ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド