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J-GLOBAL ID：200903045913251309
ダイシング装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994163516
Publication number (International publication number)：1996031772
Application date： Jul. 15, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ダイシング装置が抱えているダイシング後のチップに粘着剤が付着する問題とチップ引き剥がし工程が困難である問題を解消するダイシング装置。【構成】 ウエハ1を、多孔質のダイシングシート7を介し、かつ真空チャック機能8にて真空圧着することでダイシングテーブル9に固定する。ここでダイシングシート7は導電性を持ち、かつ水滴が通過できない微細多孔質である。真空チャック機構8は、真空チャック機能を維持したままダイシングテーブル9より取り外すことが可能である。また、ダイシングシートを弾力性と多孔質の通気性を併せ持つ導電性フィルムと機密性の導電性フィルムの2層構造としてもよい。
Claim (excerpt)：
ウエハをダイシングシートを介して真空チャック機構を有するダイシングテーブルに固定するダイシング装置において、前記ダイシングシートは導電性でかつ空気は通気できるが水滴は透過できない微細多孔質よりなることを特徴とするダイシング装置。
Patent cited by the Patent：
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