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J-GLOBAL ID：200903045934893939

フラーレン誘導体および感光材料

Inventor： 青木 信雄 ,  稲木 良昭 ,  望月 衛子
Applicant, Patent owner： 日本石油株式会社
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993202514
Publication number (International publication number)：1995033751
Application date： Jul. 26, 1993
Publication date： Feb. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 新規なフラーレン誘導体、および遠紫外線を光源とするLSI等の半導体素子製造に適したフォトリソグラフィーのレジストとして好適な感光材料を開発する。【構成】 ピリミジン基含有フラーレン誘導体、およびピリミジン基含有フラーレン誘導体からなる感光材料により目的を達成できる。

Claim (excerpt)：

ピリミジン基含有フラーレン誘導体。

IPC (4)：

C07D239/54 ,  C01B 31/02 101 ,  G03C 1/73 ,  G03F 7/038 505