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J-GLOBAL ID：200903045975187232

2次元アレイ型放射線検出器の製造方法

Inventor： 戸波 寛道
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000058725
Publication number (International publication number)：2001249180
Application date： Mar. 03, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 大きな寸法のシンチレータ検出器を、歩留まり良く、高精度に、安価に製作することができる2次元アレイ型放射線検出器の製造方法を提供する。【解決手段】 小さいシンチレータ板14に白色塗料15を塗布し、定盤16上で所定の高さに研磨し、研磨されたシンチレータ板14を密着して、広い基台19を、その上に接着する。基台19を下にして、ダイシングソーでチャンネル方向に溝20を切り、反射材21を有する遮蔽材22のチャンネル方向隔壁板24を、その溝20に挿入し、接着する。そして同様に、スライス方向に溝23を切り、スライス方向隔壁板25をその溝20に挿入し、接着する。できあがったシンチレータアレイを基板上のフォトダイオードアレイに位置を合わせて光学的に接着する。そして、散乱線防止コリメータと組み合わせる。

Claim (excerpt)：

放射線により発光するシンチレータ板を加工し組立てた発光部と、その発光部からの光を電気信号に変換する複数の光検出素子が基板上に2次元状に形成された光検出部とを組合わせた2次元アレイ型放射線検出器の製造方法において、前記シンチレータを複数のシンチレータ板で構成し、これらの複数のシンチレータ板の片面に白色塗料を塗布し、乾燥後塗布された全シンチレータ板が同じ厚さになるように塗装面を研磨し、複数のシンチレータ板全体よりも大きな面積を持つ薄いセラミック板をシンチレータ板に貼付け、シンチレータ板が所定のマトリックスサイズになるようにシンチレータ板に溝をダイシングし、その溝に反射材を有するX線遮蔽プレートを挿入して、チャンネル方向とスライス方向のX線遮蔽プレートを形成した前記発光部を製作し、その発光部のX線遮蔽プレートが前記光検出部の光検出素子に対応して発光部が配置されるように組合わせたことを特徴とする2次元アレイ型放射線検出器の製造方法。

IPC (6)：

G01T 1/20 ,  A61B 6/03 320 ,  A61B 6/03 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/321

FI (6)：

G01T 1/20 B ,  A61B 6/03 320 S ,  A61B 6/03 320 Y ,  H04N 5/321 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A

F-Term (27)：

2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG09 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ37 ,  4C093AA22 ,  4C093CA32 ,  4C093EB12 ,  4C093EB17 ,  4C093EB25 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118CA02 ,  4M118CB11 ,  4M118GA10 ,  4M118GD14 ,  5C024AX12 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5F088AA01 ,  5F088BA07 ,  5F088BA10 ,  5F088BA16 ,  5F088BB07 ,  5F088EA02 ,  5F088JA17 ,  5F088LA07