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J-GLOBAL ID：200903045990011566

電子ビーム装置

Inventor： 本荘 一郎
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992189281
Publication number (International publication number)：1993275322
Application date： Jul. 16, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】電子エミッタ部の数を適正化して、その動作不良に伴う照射領域の欠陥発生を回避する。また、必要最小限度の部品交換で電子エミッタ部の故障に対応でき、維持コストを削減する。【構成】多数個の電子エミッタ部10をマトリクス状n×mに配列してマルチ電子ビーム発生源11を構成し、それに対向して配置された試料の照射領域12(大さN×M)を、マルチ電子ビームで分担して照射する装置において、n及びmは前記N及びMの少なくともそれぞれ2倍以上に相当する値である。また、前記マルチ電子ビーム発生源を、少なくとも電子エミッタ部を含む第1構造部と、電子エミッタ部からの電子ビームを収束および偏向操作するN×M個の鏡筒部を含む第2構造部とに2分し、且つ、第1および第2構造部の相対的な位置関係を変更可能に構成する。

Claim (excerpt)：

多数個の電子エミッタ部をマトリクス状に配列してマルチ電子ビーム発生源を構成し、該マルチ電子ビーム発生源に対向して配置された試料の照射領域を、前記電子エミッタ部からのそれぞれの電子ビームで分担して照射する電子ビーム装置において、前記照射領域の大きさをN×Mとするとき、前記マルチ電子ビーム発生源を構成する電子エミッタ部の数がn×mであり、n及びmは前記N及びMの少なくともそれぞれ2倍以上に相当する値であることを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/28

FI (2)：

H01L 21/30 341 B ,  H01L 21/30 341 W