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J-GLOBAL ID：200903046016331061

大形加工物用のプラズマ加工機

Inventor： バーンズ・マイケル ,  ベンジャミン・ニール ,  ホーランド・ジョーン ,  ビア・リチャード ,  ヴェルトロップ・ロバート
Applicant, Patent owner： ラム リサーチ コーポレーション
Agent (1)： 吉田 精孝
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996517708
Publication number (International publication number)：2001511945
Application date： Dec. 05, 1995
Publication date： Aug. 14, 2001
Summary：

【要約】大形加工物用のプラズマ加工機は、真空室の外部で生じた高周波磁界を真空室に結合させてプラズマを励起させる個別に支持された複数の誘電体窓を有する真空室を含む。磁界を誘導する平面状コイルは、電気的長さの同じ複数のセグメントを有し、そのそれぞれが他のセグメントのエレメントと並列に接続されたエレメントを含む。

Claim (excerpt)：

加工物を取り付ける真空室を備えている、加工物をプラズマで処理する装置であって、加工物を処理するプラズマに変えることができるガスを室内へ導入する手段と、室の外部から生じる高周波磁界を発生する電源を備えた、ガスをプラズマに変える手段と、室の外表面上に個別に支持されて、高周波磁界をガスに結合させるように配置された複数の誘導体窓とを有しており、窓を介して結合した磁界がプラズマを励磁するようにしたことを特徴とする装置。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46

FI (4)：

H01J 37/32 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-362091
  
• プラズマ発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-352598   Applicant：国際電気株式会社
• 陰極スパッタリングによってプラズマを発生させるための装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-260197   Applicant：レイボルト・アクチェンゲゼルシャフト