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J-GLOBAL ID：200903046034366875

異物検査装置

Inventor： 伊藤 達男 ,  水口 信一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991304388
Publication number (International publication number)：1993142156
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体ウェハに形成された微細パターン中の異物を検出する。【構成】 複数の光源と試料からの散乱光を波長毎に分離する手段と偏光の向きに応じて分離する偏光ビームスプリッターと各々の偏光強度を測定する光電変換素子と、信号処理回路とからなる。

Claim (excerpt)：

複数波長の光源群と、前期光源群からの直線偏光を試料上の微小領域に入射させる手段と、前記直線偏光による散乱光を波長毎に分離する波長分離手段と、前記波長分離手段の後段に設けられた偏光分離手段と、分離された偏光成分の強度を測定する光電変換素子と、前記光電変換素子の後段に設けられた信号処理手段とからなる異物検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66