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J-GLOBAL ID:200903046037221320

光学特性の不均一性測定方法および装置ならびにこれを利用した製品良否判定方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志村 浩
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003362884
Publication number (International publication number):2005127823
Application date: Oct. 23, 2003
Publication date: May. 19, 2005
Summary:
【課題】 任意の大きさや形状をもったムラ領域のムラの程度を正確に評価する。【解決手段】 測定対象物を撮像して画像入力し(S1)、所定の微分方向に関する一次微分を求めることにより微分画像を作成する(S2,S3)。所定のしきい値Tを設定して微分画像を二値化し(S5)、しきい値Tより高い微分値をもつ領域を着目領域として認識する(S6)。入力画像上の着目領域に対応する領域を評価対象領域として抽出し、微分方向に沿った複数の一次元画素配列の集合として認識し、その両端に位置する画素の階調値の差を当該一次元画素配列の長さで除した値を当該一次元画素配列に関する評価値として求め、求めた複数の評価値の代表値を評価対象領域についての不均一性を示す評価値とする(S8)。しきい値を更新したり(S12)、微分方向を変更したり(S13)して、この処理を繰り返す。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
光学特性が均一であるべき測定対象物について、光学特性の不均一性を定量的に測定するための方法であって、 測定対象物を撮像することにより、所定の階調値をもった画素の集合からなる画像を入力し、これを、もしくは、必要に応じてこれに所定の画像処理を施したものを、入力画像とする画像入力段階と、 入力画像上に所定の微分方向を決定し、入力画像を構成する各画素の階調値について前記微分方向に関する一次微分を求めることにより微分画像を作成する微分段階と、 所定のしきい値を設定し、前記微分画像について、しきい値以上の画素値を有する画素については第1の画素値を与え、しきい値未満の画素値を有する画素については第2の画素値を与えることにより、前記微分画像を二値化し、二値画像を作成する二値化段階と、 前記二値画像について、前記第1の画素値を有する隣接画素の集合からなる領域を着目領域と認識する領域認識段階と、 前記入力画像から前記着目領域に対応する領域を評価対象領域として抽出し、この評価対象領域を構成する画素群を、前記微分方向に沿った複数の一次元画素配列の集合として認識し、個々の一次元画素配列の両端に位置する画素の階調値の差を当該一次元画素配列の長さで除した値を当該一次元画素配列に関する不均一性を示す評価値として求め、前記複数の一次元画素配列について求めた複数の評価値の代表値を、前記評価対象領域についての不均一性を示す評価値と決定する評価値決定段階と、 をコンピュータに実行させることを特徴とする光学特性の不均一性測定方法。
IPC (5):
G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T5/00 ,  G06T5/20
FI (6):
G01N21/88 J ,  G01M11/00 T ,  G06T1/00 300 ,  G06T1/00 400C ,  G06T5/00 200Z ,  G06T5/20 A
F-Term (40):
2G051AA32 ,  2G051AA34 ,  2G051AA73 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC05 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  5B047AA11 ,  5B047AB02 ,  5B047BB02 ,  5B047BC05 ,  5B047BC12 ,  5B047CB22 ,  5B047DB05 ,  5B047DC09 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC01 ,  5B057DC22 ,  5B057DC36
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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