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J-GLOBAL ID：200903046070077502

レーザマーク装置

Inventor： 古川 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社キーエンス
Agent (1)： 山村 喜信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996032656
Publication number (International publication number)：1997206965
Application date： Jan. 26, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 個々のマスクパターンを予め用意しなくても印字のパターンを種々変更できると共に、レーザの出力を大きくしなくても高品質の印字が得られるレーザマーク装置を提供する。【解決手段】 レーザ発振器1から出射されたレーザ光Lを対象物Wの表面に照射してレーザマークを行うレーザマーク装置に関する。揺動自在に支持された複数の可動ミラー40からなるミラーアレイ4と、ミラーアレイ4における少なくとも複数の可動ミラー40に単一の光束L1を入射させる光学系とを設ける。各可動ミラー40は、電気信号に基づいて、少なくとも、レーザ光Lを対象物の表面に向かわせる第1の姿勢と、レーザ光Lを対象物の表面に向かわせない第2の姿勢とに切り替わる。

Claim (excerpt)：

レーザ発振器から出射されたレーザ光を対象物に照射してレーザマークを行うレーザマーク装置であって、揺動自在に支持された複数の可動ミラーからなるミラーアレイをレーザ光の光路に設けると共に、該ミラーアレイにおける少なくとも複数の可動ミラーに単一の光束を入射させる光学系を設け、前記各可動ミラーは、電気信号に基づいて、少なくとも、レーザ光を対象物に向かわせる第1の姿勢と、レーザ光を対象物に向かわせない第2の姿勢とに切り替わるレーザマーク装置。

IPC (4)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  B41M 5/24 ,  G02B 7/198

FI (4)：

B23K 26/00 B ,  B23K 26/06 Z ,  B41M 5/24 ,  G02B 7/18 B