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J-GLOBAL ID：200903046082010071
走査光学系の計測装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 淳 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996022569
Publication number (International publication number)：1997218129
Application date： Feb. 08, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 容易にかつ正確に走査光学系の異常の有無の計測を行う。【解決手段】 計測装置10は、水平同期センサ18の検出結果に同期させ、信号発生部32で発生させた変調信号を光源変調部34へ出力し、走査光学ユニット12が走査する光ビームを所定の周期でオン・オフさせる。この光ビームは、CCDエリアセンサ24に受光され、画像データとしてバッファメモリ36に取り込まれ、画像信号処理部40へ出力される。画像信号処理部は、CCDエリアセンサによって検出した走査領域の全域の画像データから、走査ライン上及び走査ライン間のオフレベル光量を求める。これらのオフレベル光量の変化を表示出力部42で表示することにより光ビームのビーム形状の異常の有無を判定できる。
Claim (excerpt)：
走査光学系によって走査される光ビームのビーム形状を測定する走査光学系の計測装置であって、所定のタイミングで同期信号を発生させる同期信号発生手段と、該同期信号に同期させて光源から発する光ビームを所定の周波数でオン・オフさせる光源変調手段と、前記光源変調手段の変調に応じて前記走査光学系から走査される光ビームを受光する受光手段と、該受光手段からの受光信号を格納する格納手段と、該格納手段に格納されている受光信号と前記同期信号に基づいて光ビームのオン信号間の光量をオフ時の光量として、該オフ時の光量から光ビームのビーム形状を計測する信号処理手段と、を含むことを特徴とする走査光学系の計測装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M 11/00 T
, G02B 26/10 Z
