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J-GLOBAL ID:200903046106525329

顕微鏡用オートフォーカス装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998070845
Publication number (International publication number):1999271623
Application date: Mar. 19, 1998
Publication date: Oct. 08, 1999
Summary:
【要約】【課題】従来装置による合焦は、光学系に変倍機能が必要であり、コストアップや大型化及び複雑な調整が必要になり信頼度を損なう。センサのサンプリングピッチを変化させてもセンサの物理的な限界により、極低倍設定では、高倍時の有効な画像検出範囲に極端な制限を受け、安定したAF動作を得られない。【解決手段】本発明は、極低倍を含む任意の倍率に切換可能な対物レンズ7と、標本を積載し3次元的に移動可能なスキャニングステージ1とを備える顕微鏡に搭載され、極低倍の対物レンズが装填され標本に合焦できなかった際に、標本の観察箇所をステージ平面の座標として記憶させ、スキャニングステージ1を任意範囲内でステージ駆動部14,15で移動させて所定の閾値以上の光束のレベルが得られた位置で合焦させた後、観察箇所に復帰させる顕微鏡用オートフォーカス装置である。
Claim (excerpt):
任意の倍率に切換可能な対物レンズと、標本を積載し、3次元的に移動可能なステージと、前記標本の光像を形成するための光学系と、この光学像を観察若しくは撮影するための観察手段とを備える顕微鏡に搭載され、前記光学系が照射した前記光像を含む光束に光路差を設けて受光して光電変換し、光電変換された信号に基づき、前記ステージに移動をさせ、前記標本に前記対物レンズを合焦させる合焦手段と、前記ステージ上の観察位置を平面の座標として記憶するステージ位置記憶手段と、極低倍の前記対物レンズが装填され前記標本に合焦できなかった際に、前記ステージ位置記憶手段に前記標本の観察箇所を座標として記憶させ、前記ステージを任意範囲内で移動させて予め設定された閾値以上の前記光束のレベルが得られた位置で前記合焦手段により合焦させた後、前記ステージを前記観察箇所に平面移動させて復帰させる制御手段と、を具備したことを特徴とする顕微鏡用オートフォーカス装置。
IPC (2):
G02B 21/00 ,  G02B 7/28
FI (2):
G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J

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