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J-GLOBAL ID：200903046107813387

レーザ加工装置及びレーザ加工方法

Inventor： 青木 彦治
Applicant, Patent owner： ブラザー工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994224927
Publication number (International publication number)：1996090273
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 良好に貫通穴を加工すること。【構成】 被加工物9を加工テーブル20上に配置し、ロータリーポンプを駆動して、エアーバキューム穴11に負圧を発生させて、加工テーブル20に被加工物9を固定する。加工テーブルには、エキシマレーザビーム照射位置に凹部12が設けられ、さらにその上面に合成石英ガラス板13が接合されている。よって、貫通穴加工時においてエキシマレーザビーム2は前記合成石英ガラス板13を透過するため、加工テーブル20でのエキシマレーザビーム2の反射はなく、エキシマレーザビーム出射側の貫通穴14周辺にダメージが発生しない。

Claim (excerpt)：

レーザ光を用いて被加工物に貫通穴を加工するレーザ加工装置において、前記被加工物を支持し、被加工物の貫通穴形成位置にレーザ光透過部を有する支持部材を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4)：

B23K 26/10 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 37/04 ,  B41J 2/135