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J-GLOBAL ID：200903046155728863

反射鏡

Inventor： 井上 良男
Applicant, Patent owner： 富士写真光機株式会社
Agent (1)： 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104400
Publication number (International publication number)：1993297207
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 銀反射鏡の保護層をAl2 O3 層、ZrO2 層、SiO2 層の3層構成とし、これらの3層の厚さを所定の範囲とすることによりP偏光とS偏光の反射率差を1%程度以内とする。【構成】 この反射鏡はガラス基板1上に5〜15nm厚のCr層2、10〜40nm厚のCu層3、500nm 厚のAg層4、49nm〜89nm厚のAl2 O3 層5、37nm〜77nm厚のZrO2 層6および60nm〜100nm 厚のSiO2 層7をこの順に積層してなる。

Claim (excerpt)：

基板上に銀層、酸化アルミニウム層、酸化ジルコニウム層および二酸化ケイ素層をこの順に積層してなる反射鏡であって、前記酸化アルミニウム層の厚さを49nm以上89nm以下に、前記酸化ジルコニウム層の厚さを37nm以上77nm以下に、前記二酸化ケイ素層の厚さを60nm以上100nm 以下の厚さに設定してなることを特徴とする反射鏡。

IPC (2)：

G02B 5/08 ,  B32B 9/04