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J-GLOBAL ID：200903046164658193
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土井 育郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187396
Publication number (International publication number)：1994005202
Application date： Jun. 23, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】 耐熱性に優れるとともに出ガスがなく、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満足のいくプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルターを形成する。【構成】 カラーフィルターを形成すべきガラス等の基板1上に耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成物2を塗布し、その上から感光性組成物3を塗布する。次に、マスクMを介して感光性組成物3の層にパターニング部分3aを形成した後、非露光部分3bを現像して除去する。続いて、このパターニング部分3をマスキング材として着色剤組成物2の層を現像パターニングした後、着色反応に十分な温度で焼成し、有機分を焼失して着色剤からなるフィルター部分を形成する。着色剤としては、耐熱性顔料、色ガラス、基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオンと交換するような材料が使用できる。
Claim (excerpt)：
カラーフィルターを形成すべき基板上に耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成物を塗布する第1塗布工程と、その上から感光性組成物を塗布する第2塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを介しての露光により感光性組成物の層にパターニング部分を形成する露光工程と、感光性組成物の非露光部分を現像によって除去する現像工程と、感光性組成物のパターニング部分をマスキング材として着色剤組成物の層を現像パターニングする現像パターニング工程と、着色反応に十分な温度で焼成し感光性組成物の有機分を焼失して着色剤からなるフィルター部分を形成する焼成工程とからなることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
IPC (2)：
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