Pat

J-GLOBAL ID：200903046172711710

ウエハの移載装置

Inventor： 和田 篤
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン相模株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991188340
Publication number (International publication number)：1993013547
Application date： Jul. 03, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 熱処理用ウエハ保持具におけるリング状ウエハ支持板間のピッチを小さくすることができるウエハの移載装置であって、しかも、ウエハを突き上げるための高さ方向のスペースが小さいウエハの移載装置を提供することにある。【構成】 複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウエハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ突き上げ盤を昇降させる第1の昇降手段と、この第1の昇降手段を昇降させる第2の昇降手段とを有していることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウエハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ突き上げ盤を昇降させる第1の昇降手段と、この第1の昇降手段を昇降させる第2の昇降手段とを有していることを特徴とするウエハの移載装置。