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J-GLOBAL ID：200903046175876583

疵検査用照明装置

Inventor： 内藤 修治 ,  今野 雄介
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000032892
Publication number (International publication number)：2001221745
Application date： Feb. 10, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】 疵検査装置を、検査対象に近接設置が困難な検査対象であって、かつ検査対象の表面が、鏡面から拡散面まで大幅に変化するような場合であっても、容易に疵検査を可能とする。【解決手段】 検査対象を照明し、電子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置において、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱度制御板13を配置し、ヘイズ率を制御できるようにした。

Claim (excerpt)：

検査対象を照明し、電子カメラにて撮像して得られる電気信号を処理して、疵部分を検出する光学的表面疵検査装置に用いる疵検査用照明装置において、照明と検査対象の間に、電気的にヘイズ率を制御できる光散乱度制御板を配置し、ヘイズ率を制御できるようにしたことを特徴とする疵検査用照明装置。

IPC (3)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/892

FI (3)：

G01N 21/84 E ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/892 B

F-Term (25)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG03 ,  2F065GG08 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065NN03 ,  2F065NN11 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051BC02 ,  2G051BC03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06