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J-GLOBAL ID：200903046203778452

めっき装置及びめっき方法

Inventor： 余吾 鋭哉
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994001396
Publication number (International publication number)：1995211669
Application date： Jan. 12, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 循環方式のめっき装置及びめっき方法に関し、めっき品質、めっき精度の向上及び安定化を図り、且つめっきコストの低減及びめっき効率の向上を図る。【構成】 めっき液貯蔵タンク1に該タンク1内のめっき液面8Sの高さを規定する液面センサ6を設け、めっき液供給用の第1の配管3とめっき液回収用の第2の配管4の該めっき液貯蔵タンク1への接続部をそれぞれ該めっき液面8Sよりも下部に設け、且つ該タンク1内に該規定された液面位置を通過して上下に移動自在なタンク容量可変用可動部7を配置し、該タンク容量可変用可動部7の上下移動によって該タンク内のめっき液面8Sの高さをめっき液量の変動に関わらず常に該液面センサ6で規定する一定の高さに保ってめっき処理を行う。

Claim (excerpt)：

めっき液貯蔵タンク(1) と、該貯蔵タンク(1) のめっき液面(8S)より高い位置に底面を有して配置されためっき処理槽(2) とを有し、該めっき液貯蔵タンク(1) 内のめっき液(8) を途中に液送ポンプ(5) の介在する第1の配管(3) により該めっき処理槽(2) 内へ順次送り込み、且つ過剰になっためっき処理槽(2) のめっき液(8) を第2の配管(4) を通じて落差により順次該めっき液貯蔵タンク(1) 内へ回収する循環方式のめっき装置において、該めっき液貯蔵タンク(1) に該タンク(1) 内のめっき液面(8S)の高さを規定する液面センサ(6) を設け、該第1の配管(3) と第2の配管(4) の該めっき液貯蔵タンク(1) への接続部をそれぞれ該めっき液面(8S)よりも下部に設け、且つ該タンク(1) 内に該規定された液面位置を通過して上下に移動自在なタンク容量可変用可動部(7) を配置し、該タンク容量可変用可動部(7) の上下移動によって該タンク内のめっき液面(8S)の高さをめっき液量の変動に関わらず常に該液面センサ(6) で規定する一定の高さに保ってめっき処理を行うことを特徴とするめっき装置。

IPC (3)：

H01L 21/288 ,  C25D 13/00 302 ,  H01L 21/321