ロット自動編成装置及び方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：曾我道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993162832
Publication number (International publication number)：1995022490
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】半導体ウエハ生産工程において効率の良い可変ロット数のロット編成を自動的に行う。【構成】前後の処理工程間でロット1のバッチ処理単位が変わる場合に、1バッチ処理当たりのロット数を変更するためのロット編成専用工程を設ける。ステーション上のロット1の識別情報をロット識別装置6により読み取り、ストッカー2、ステーション5及び第1乃至第3搬送ロボット3、4、7を統括制御して、ロット1の識別情報に基づき前記ステーション5上のロット1を所定のストッカー2の所定の位置に収納すると共に、次工程の処理条件、装置負荷、処理の優先順位等のロット編成条件に従ってバッチ内のロット1の編成、分割作業を自動的に行う。【効果】半導体ウエハ生産工程における工期短縮及び仕掛かりの平準化により生産性が向上する。

Claim (excerpt)：

整列配置されて複数個のロットを収納しうる複数のストッカーと、それらの複数のストッカーの前面に設置されて前面よりロットの出し入れをする第1搬送ロボットと、前記複数のストッカーの背面に設置されて背面よりロットの出し入れをする第2搬送ロボットと、前記第1及び第2搬送ロボットが前記ストッカーに出し入れするロットを複数個載置しうるステーションと、そのステーション上のロットの識別情報を読み取るロット識別装置と、前記ステーション上のロットを搬送して前記第1及び第2搬送ロボットに受け渡しする第3搬送ロボットと、前記ストッカー、前記ステーション及び前記第1乃至第3搬送ロボットを統括制御して、前記ロットの識別情報に基づき前記ステーション上のロットを所定のストッカーの所定位置に収納すると共に、次工程の処理条件、装置負荷、処理の優先順位等のロット編成条件に従ってバッチ内のロットの編成、分割作業を自動的に行う制御装置とからなるロット自動編成装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B23Q 41/00 , B23Q 41/08 , B65G 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-236213
特開平1-321648
特開昭62-112339

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