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J-GLOBAL ID：200903046236411627

パルスX線照射装置

Inventor：
近藤 洋行

About 近藤 洋行

, 
神高 典明

About 神高 典明


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995343482
Publication number (International publication number)：1997184900
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 試料やレジストなどの被照射物への積算X線照射量が、予め設定されたX線照射量に一致するように、或いは許容範囲内に納まるように、短時間にX線照射を行うことができるパルスX線照射装置を提供する。【解決手段】 被照射物117上の被照射領域内に照射されたX線の量を検出するか、或いは推定するX線量検出部118、121と、照射すべきX線量の設定値を記憶する記憶部と、検出または推定されたX線量を積算すると共に、その積算量をX線量設定値と比較する演算部と、パルス励起エネルギービーム108の強度を検出するか、或いは推定するビーム強度検出部110と、パルス励起エネルギービーム108の強度を変化させるビーム強度調整部と、前記X線量検出部118、121、記憶部、演算部、ビーム強度検出部110、及びビーム強度調整部の動作を制御する制御部122と、を具備する。
Claim (excerpt)：
減圧された真空容器内の標的部材にパルス励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出して被照射物に照射するパルスX線照射装置において、前記被照射物上の被照射領域内に照射された前記X線の量を検出するか、或いは推定するX線量検出部と、該X線量検出部により検出または推定されたX線量、その積算量及び前記被照射物に照射すべきX線量の設定値を記憶する記憶部と、前記検出または推定されたX線量を積算すると共に、その積算量を前記X線量設定値と比較する演算部と、前記パルス励起エネルギービームの強度を変化させるビーム強度調整部と、前記X線量検出部、記憶部、演算部、及びビーム強度調整部の動作を制御する制御部と、を具備したことを特徴とするパルスX線照射装置。
IPC (3)：
G21K 5/02 ,  H05G 2/00 ,  H05G 1/44
FI (3)：
G21K 5/02 X ,  H05G 1/44 A ,  H05G 1/00 K
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • X線光源装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-257640   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 特開平1-280313
  • 特開平3-068185
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