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J-GLOBAL ID：200903046240077910

光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法

Inventor： 立川 仁
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997363690
Publication number (International publication number)：1999179576
Application date： Dec. 16, 1997
Publication date： Jul. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 レーザ光を用いてマスク面上のマスクパターンを加工物に高精度に加工することができる光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法を得ること。【解決手段】 光源から放射された光でマスク面上に設けたパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影し、アブレーション加工するようにした光加工機において、アブレーション加工の経過に際して、該マスクと光学系、そして加工物の光軸方向の相対的位置を変化させて、該加工物面上に投影される該マスクのパターン像の結像特性を制御していること。

Claim (excerpt)：

光源から放射された光でマスク面上に設けたパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影し、アブレーション加工するようにした光加工機において、アブレーション加工の経過に際して、該マスクと光学系、そして加工物の光軸方向の相対的位置を変化させて、該加工物面上に投影される該マスクのパターン像の結像特性を制御していることを特徴とする光加工機。

IPC (3)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/00 ,  B41J 2/135

FI (3)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/00 G ,  B41J 3/04 103 N