Pat
J-GLOBAL ID：200903046244197103

基板処理システムおよび基板処理方法

Inventor：
吉田 多久司

About 吉田 多久司

, 
濱田 哲也

About 濱田 哲也


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002186349
Publication number (International publication number)：2004025058
Application date： Jun. 26, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：
【課題】複数の基板処理装置のそれぞれの基板処理環境を略同一にすることができる基板処理システムおよび基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置100の基板処理環境を制御する制御指令値として使用される基準指令値を、装置サーバ300からネットワーク600d、600fを介して基板処理装置200に送信する。次に、基板処理装置200の基板処理環境の状況を示す実測値と上記基準指令値とから、基板処理装置100および基板処理装置200の基板処理環境を略同一にする補正量を演算して、補正量データベース320に格納する。基板処理を実施する際、基板処理装置100の基板処理環境は、基準指令値によって、また、基板処理装置200は、基準指令値を補正量によって補正した値によってそれぞれ制御される。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板処理システムであって、 (a) 第1の基板処理装置と、 (b) 前記第1の基板処理装置とネットワークを介して接続された第2の基板処理装置と、 (c) 前記第1の基板処理装置および前記第2の基板処理装置とネットワークを介して接続され、 (c-1) 前記第1の基板処理装置の基板処理環境を制御する制御指令値として基準値を格納する第1のデータベースと、 (c-2) 前記第2の基板処理装置の基板処理環境を制御する制御指令値として、前記第1のデータベースに格納された基準値を送信する第1の送信手段と、 (c-3) 前記第1の送信手段によって送信された前記基準値に従って前記第2の基板処理装置が制御された際の、前記第2の基板処理装置における基板処理環境を表現した実測値を、前記第2の基板処理装置から受信する受信手段と、 (c-4) 前記第1の送信手段によって送信された前記基準値と前記実測値とから、前記第1の基板処理装置および前記第2の基板処理装置の基板処理環境を略同一にする補正量を演算する演算手段と、 (c-5) 前記第1の送信手段によって送信された前記基準値と対応付けて前記補正量を格納する第2のデータベースと、 を有する情報処理装置と、 を備え、 前記第2の基板処理装置は、 (b-1) 前記情報処理装置から送信される前記制御指令値に基づいて、当該第2の基板処理装置における制御対象を制御する制御手段と、 (b-2) 前記実測値を得る測定手段と、 (b-3) 前記実測値を前記情報処理装置に送信する第2の送信手段と、 を有することを特徴とする基板処理システム。
IPC (3)：
B08B3/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304
FI (5)：
B08B3/02 B ,  H01L21/304 648H ,  H01L21/30 572B ,  H01L21/30 502G ,  H01L21/302 104H
F-Term (13)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BB22 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  5F004AA09 ,  5F004DB26 ,  5F004FA08 ,  5F046MA06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM