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J-GLOBAL ID：200903046270628082

透過型電子顕微鏡による磁性体の観察方法および装置

Inventor： 高橋 由夫 ,  矢島 裕介
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991266093
Publication number (International publication number)：1993109380
Application date： Oct. 15, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】電子ビームが磁性体薄膜を透過するときに受けるローレンツ力による偏向から、この薄膜の磁気的特性を求めるローレンツ顕微鏡において、像回転や倍率変化を起こすことなく、デフォーカス距離(焦点のずれ距離)を変化させることのできる装置、及びそれを使った観察方法を提供する。【構成】電子ビーム1が通過する孔を中央部に有する試料ホルダ4の内部に磁性薄膜試料を保持し、この試料ホルダ4をその外面側の3個所で電子ビーム1と垂直な方向に加圧支持する積層型圧電素子2と、試料ホルダ4をその下面側の3個所で電子ビーム1と平行な方向に移動可能に支持するバイモルフ型圧電素子3と、これらの圧電素子にそれぞれ別個に調節可能な電圧を印加する印加電圧制御手段とを設けて、試料ホルダ4を電子ビーム1と平行方向に移動させることによりデフォーカス距離を設定する構成とする。

Claim (excerpt)：

磁性体薄膜試料に焦点をずらした電子ビームを照射し、試料を透過するときに受けるローレンツ力による電子ビームの偏向を検知して試料の磁気的特性を調べる透過型電子顕微鏡において、焦点の試料面からのずれ距離を、試料を保持している試料ホルダを電子ビームと平行な方向に移動させることにより設定することを特徴とする透過型電子顕微鏡による磁性体の観察方法。

IPC (4)：

H01J 37/26 ,  G01R 33/028 ,  G01R 33/12 ,  H01J 37/20