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J-GLOBAL ID：200903046275207778

集積型同調可能型ファブリペロット形干渉計

Inventor： アンヌ・ジョルダン ,  クロード・ビエット
Applicant, Patent owner： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
Agent (1)： 志賀 正武 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998262097
Publication number (International publication number)：1999167076
Application date： Sep. 16, 1998
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 構造を簡単化した、とりわけ、電極構成を簡単化した、ファブリペロット形干渉計を提供すること。【解決手段】 静電的に制御される同調可能なファブリペロット形干渉計であって、-浮遊電極2が取り付けられた第1ミラー4と、-第1制御電極8および第2制御電極10が取り付けられた第2ミラー6と、第1ミラー4および第2ミラー6によって画定され長さがdとされている共鳴キャビティと、を具備してなり、第1ミラー4が固定ミラーとされ、かつ、第2ミラー6が可動ミラーとされ、2つの制御電極8,10間に電圧を印加することにより、可動ミラー6が、固定ミラー4に対して変位し、それにより、共鳴キャビティの長さを変えることができるようになっている。

Claim (excerpt)：

静電的に制御される同調可能なファブリペロット形干渉計であって、-浮遊電極が取り付けられた第1ミラーと、-第1および第2制御電極が取り付けられた第2ミラーと、-前記第1および第2ミラーによって画定され長さがdとされている共鳴キャビティと、を具備してなり、前記第1および第2ミラーのうちの一方が固定され、かつ、他方が移動可能とされ、前記2つの制御電極の間に電圧を印加することにより、移動可能とされたミラーが、固定された方のミラーに対して変位し、それにより、前記共鳴キャビティの長さを変えることができるようになっていることを特徴とする干渉計。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭62-257032
  
• 静電駆動マイクロシャッターおよびシャッターアレイ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-037144   Applicant：日本電気株式会社
• 特開平4-211216