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J-GLOBAL ID：200903046306685126

試料の表面または内部情報検出方法およびその装置

Inventor： 中田 俊彦 ,  二宮 隆典 ,  小林イラリオ治臣
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991340646
Publication number (International publication number)：1993172736
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は光音響信号検出技術に関し、単純構成にして、また試料表面の反射率分布及び凹凸分布の影響を受けにくい、試料の2次元内部情報の高速検出を可能とする試料の表面または内部情報検出方法およびその装置を提供することを目的とする。【構成】ストライプ状の励起ビーム101により、試料の帯状検査領域を並列に同時に励起し、各点で生じた光音響信号の検出に光干渉を利用し、干渉光を並列に同時に検出する構成201、202とすることにより、試料の帯状検査領域の光音響信号を並列に同時に検出することができ、上記目的が達成される。【効果】試料の帯状検査領域の光音響信号を並列に同時に検出することが可能となるため、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出が可能になるという効果を有する。また、試料表面の反射率分布、凹凸分布、光路のゆらぎを補正した光音響信号の検出が可能となり、高感度かつ安定な検出が可能になるという効果を有する。

Claim (excerpt)：

所望の周波数で強度変調した光を試料の帯状検査領域の表面上に照射して該帯状検査領域の表面または内部に光音響効果あるいは光熱効果を発生させ、光を試料の帯状検査領域の表面上に照射してその反射光と参照光との干渉光を試料表面と共役の関係にある光電変換素子で検出し、該検出した干渉光強度信号の中から帯状検査領域にて光音響効果あるいは光熱効果により生じた前記強度変調周波数と同じ周波数成分の熱歪を検出して該周波数成分の熱歪より試料の帯状検査領域の表面または内部情報を検出することを特徴とする試料の表面または内部情報検出方法。

IPC (2)：

G01N 21/00 ,  G01N 29/00 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-036338
  
• 特開平2-243956
  
• 特開平3-156362
  
• 特開平3-282253