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J-GLOBAL ID：200903046314264830

角速度センサ

Inventor： 田村 美樹 ,  伏見 正弘 ,  宇田 芳己 ,  左納 義久
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993239666
Publication number (International publication number)：1995091958
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 小型で、多軸方向の角速度が高精度に検出でき、かつ、量産性に優れた角速度センサを提供する。【構成】 平板状の基板13の上面には柱状の固定部8が形成され、固定部8には、円周方向に約90°の間隔で支持梁9が形成されている。これらの支持梁9には、それぞれ等価な4つの、第1乃至第4の質量部1〜4が基板13上に空隙を介して円周方向に支持され、連結部5により一体的に連結されている。そして、基板13の上面には、静電容量を検出するための検出電極14が、各質量部1〜4にそれぞれ対向して配設されている。各質量部1〜4の両側面はそれぞれ櫛形形状に形成されており、これら各櫛歯に対向して櫛形形状の駆動電極6がそれぞれ互い違いになるように配設されている。そして、各駆動電極6にはそれぞれ電圧印加部7が質量部1〜4の外周側に引き出して形成されている。

Claim (excerpt)：

振動ジャイロ方式による多軸検知型の角速度センサであって、円周方向に略90°の間隔で形成された等価な4つの質量部と、前記4つの質量部を一体的に連結する連結部と、前記4つの質量部を平板基板上に支持する支持部と、前記4つの質量部を一体的に円周方向に所定振動数で振動させる振動駆動手段とからなり、前記振動駆動手段により前記4つの質量部が一体的に振動している時に検出軸の回りに角速度が加わった際、前記4つの質量部のうちの、相対する1組または2組の質量部の平面基板に対する垂直方向の変位量をそれぞれ検出する検出手段を備えたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04