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J-GLOBAL ID：200903046350173973
2次元検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西田 新
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992231947
Publication number (International publication number)：1994082305
Application date： Aug. 31, 1992
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 画像の分解能が、アレイセンサを構成する画素サイズ以下の高分解能の2次元検出器を提供する。【構成】 アレイセンサの各画素に対応して微小窓を設けた2次元格子等のマスクを、そのセンサの検出面に密接して配置し、その微小窓の移動によって、センサの1画素を更に分割した画素データ群を得るよう構成している。
Claim (excerpt)：
複数の画素が行列状に形成されたアレイセンサと、その検出面側に配置されたマスクを有し、そのマスクには、上記画素に対応する位置に、それぞれ、面積が当該画素よりも小さい窓が設けられているとともに、その各窓の検出平面上での位置を、それぞれ上記画素の配列ピッチよりも小さい間隔で変更してゆく手段を備えた2次元検出器。
IPC (4)：
G01J 1/02
, G01J 1/06
, G01T 1/29
, H01L 27/14
