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J-GLOBAL ID：200903046366189659

エネルギーアナライザ

Inventor： 大嶋 卓 ,  西山 英利 ,  村越 久弥
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997186246
Publication number (International publication number)：1999031474
Application date： Jul. 11, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】静電型エネルギーアナライザの高分解能化を図る。【解決手段】スリット板などによる偏向電界の擾乱を低減するために電界補正電極を設ける。

Claim (excerpt)：

電子もしくは荷電粒子が通るスリット穴を有する入射スリット板と出射スリット板および、電子もしくは荷電粒子の軌道を曲げる静電偏向用電界を発生する外側電極と内側電極からなる静電偏向型のエネルギーアナライザにおいて、上記入射スリット板と出射スリット板には各スリット板自身の電位により静電偏向用電界を乱すことを低減する電界補正電極を備え、かつ上記入射スリット板の上記アナライザ外面となる部分は上記電界補正電極による電界分布が外部に漏洩することを低減するスリット電極で覆われていることを特徴とするエネルギーアナライザ。