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J-GLOBAL ID：200903046402997619

プラスチック成形用鋳型の製造方法

Inventor： 赤坂 秀機 ,  秋山 俊夫 ,  木村 幸泰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992211217
Publication number (International publication number)：1993220751
Application date： May. 20, 1983
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 製造工程が少なく、機械的強度、耐久性に秀れ、形状精度の高いプラスチック成形用鋳型を作る。【構成】 光学的面精度を有する母材表面に、所望のレジストパターンを形成した後、母材21のエッチングを行ない、次いで前記レジスト22を除去することにより、線巾5μm以下深さ10nm〜800 nmの微細パターンが形成されたプラスチック成形用鋳型の製造方法において、母材21として、結晶状又は非晶質のシリコン又は石英を使用し、エッチングとしてドライエッチングを採用した。

Claim (excerpt)：

光学的面精度を有する母材表面に、所望のレジストパターンを形成した後、母材のエッチングを行ない、次いで前記レジストを除去することにより、線巾5μm以下深さ10nm〜800 nmの微細パターンが形成されたプラスチック成形用鋳型の製造方法において、前記母材として、結晶状又は非晶質のシリコン又は石英を使用し、且つ前記エッチングとしてドライエッチングを採用したことを特徴とする方法。

IPC (5)：

B29C 33/38 ,  G11B 3/70 ,  G11B 7/26 511 ,  G11B 11/00 ,  B29L 17:00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-214623
  
• 特公昭59-052707
  
• 特開昭56-062628