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J-GLOBAL ID：200903046409215772

位置決め制御方法

Inventor： 本田 英己 ,  小黒 龍一 ,  郭 双暉
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2000001246
Publication number (International publication number)：WO2000052543
Application date： Mar. 02, 2000
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】入力トルク(13)と減速器および直行/極座標変換定数(14)を掛けたテーブル推進力(10)を合わせた入力より電動機変位(12)を発生する電動機伝達関数(1)と、その電動機変位に減速器および極/直行座標変換定数(2)を掛け合わせた出力とテーブル変位(8)との偏差(11)に、テーブル変位/力変換バネ定数(3)を掛け合わせてテーブル推進力(10)を発生させ、そのテーブル推進力よりテーブル変位(7)を出力するテーブル伝達関数(4)と、機台変位(9)に機台変位/力変換バネ定数(6)を掛け合わせテーブル推進力(10)と共に入力して機台変位(9)を発生する機台駆動伝達関数(5)を配し、テーブル変位(7)と機台変位(9)の差により機台上でのテーブル変位(8)を発生させる機台振動モデルを定義した前置補償器を構成し、その補償値を帰還して機台振動を抑制する位置決め制御方法。

Claim (excerpt)：

機台上にワークを保持して所定方向に移動可能なテーブルを駆動する駆動手段と、該駆動手段の変位およびテーブル位置を計測する計測手段とを有し、前記計測手段で計測された変位信号を用いてテーブルに保持されたワークを目標位置に位置決めする位置決め制御方法において、 入力トルクと減速器および直行/極座標変換定数を掛けたテーブル推進力を合わせた入力より電動機変位を発生する電動機伝達関数と、前記電動機変位に減速器および極/直行座標変換定数を掛け合わせた出力とテーブル変位との偏差に、テーブル変位/力変換バネ定数を掛け合わせて前記テーブル推進力を発生させ、前記テーブル推進力によりテーブル変位を出力するテーブル伝達関数と、機台変位に機台変位/力変換バネ定数を掛け合わせ前記テーブル推進力と共に入力して機台変位を発生する機台駆動伝達関数を配し、前記テーブル変位と前記機台変位の差により機台上でのテーブル変位を発生させる、機台振動モデルの定義による補償器を構成することを特徴とする位置決め制御方法。

IPC (3)：

G05D 3/12 305 ,  B23Q 5/22 530 ,  G05B 11/36

FI (3)：

G05D 3/12 305 L ,  B23Q 5/22 530 B ,  G05B 11/36 F