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J-GLOBAL ID：200903046431857257

波長フィルタ

Inventor：
菊田 久雄

About 菊田 久雄

, 
岩田 耕一

About 岩田 耕一

, 
水谷 彰夫

About 水谷 彰夫

, 
豊田 宏

About 豊田 宏


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 三枝 英二 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001060810
Publication number (International publication number)：2002258034
Application date： Mar. 05, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 薄膜の成膜が一度で済み且つ高い反射率が得られる狭帯域反射型波長フィルタを提供する。【解決手段】 誘電体層に覆われた基板の微細凹凸の形態は、周囲雰囲気と誘電体層と基板とを媒質としたときの各高さでの平均屈折率が周囲雰囲気側から基板側へと緩やかに変化しており、誘電体層、基板、周囲雰囲気の屈折率をn<SB>d</SB>,n<SB>s</SB>,n<SB>air</SB>としたときに、n<SB>d</SB>>n<SB>s</SB>,n<SB>air</SB> であり、微細凹凸及び誘電体層が該凹凸面に入射した光の導波層を形成しており、微細凹凸の周期は、該周期をΛ、基板及び周囲雰囲気の屈折率を各々n<SB>s</SB>、n<SB>air</SB>、照射光の波長及び入射角をλ、θとすると、Λ<λ/(n<SB>s</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)、及び Λ<λ/(n<SB>air</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)を満足する範囲とされ、微細凹凸の周期Λは、導波層における最も高い平均屈折率をn<SB>gmax </SB>とすると、Λ>λ/(n<SB>gmax</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)を満足する範囲とされる。
Claim (excerpt)：
表面に微細凹凸を有する基板と、該微細凹凸面を覆う誘電体層とを備え、前記基板の微細凹凸は、基板表面での反射防止作用が得られるように、周囲雰囲気と誘電体層と基板とを媒質としたときの微細凹凸高さ方向における各高さでの平均屈折率が周囲雰囲気側から基板側へと緩やかに変化しており、誘電体層、基板、周囲雰囲気の屈折率を各々n<SB>d</SB>,n<SB>s</SB>,n<SB>air</SB>としたときに、n<SB>d</SB>>n<SB>s</SB>,n<SB>air</SB>であり、前記微細凹凸及び誘電体層が該凹凸面に入射した光の導波層を形成しており、前記基板の微細凹凸の周期は、該周期をΛ、基板及び周囲雰囲気の屈折率を各々n<SB>s</SB>、n<SB>air</SB>、照射光の波長及び入射角を各々λ、θとすると、Λ<λ/(n<SB>s</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)Λ<λ/(n<SB>air</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)の双方を満足する範囲とされ、前記微細凹凸の周期Λは、前記導波層における最も高い平均屈折率をn<SB>gmax</SB>とするとΛ>λ/(n<SB>gmax</SB>+n<SB>air</SB>sinθ)を満足する範囲とされることを特徴とする波長フィルタ。
IPC (4)：
G02B 5/26 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/28 ,  G02B 6/122
FI (4)：
G02B 5/26 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/28 ,  G02B 6/12 A
F-Term (14)：
2H047LA01 ,  2H047TA43 ,  2H048FA05 ,  2H048FA12 ,  2H048FA15 ,  2H048FA21 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H049AA03 ,  2H049AA51 ,  2H049AA59 ,  2H049AA64
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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