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J-GLOBAL ID：200903046446109141

照明装置及びそれを用いた走査型露光装置

Inventor： 西郡 英俊
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995153327
Publication number (International publication number)：1997007923
Application date： Jun. 20, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】 均一に物体を照明できる照明装置を提供する。【構成】 ビーム整形光学系2の射出光の指向方向を調節することにより、オプティカルインテグレータ4の光射出面での2次光源の光強度分布を変化させる。あるいは、オプティカルインテグレータ4の光射出面に配置された2次光源用マスキング5を調節することにより、2次光源形状を変化させる。これにより、レチクル10及びウエハ12上の照明領域の走査方向の強度分布の形状を変えることができ、どのようなレチクル10及びウエハ12の走査速度、光源の発振周期においても、均一に露光することが可能になる。

Claim (excerpt)：

パルス光源と、該パルス光源より発した複数のパルス光が順次形成する照明領域を物体に対して相対的に走査する走査手段とを有し、前記照明領域を前記物体上で相対的に変位させながら重ね合わせることにより、前記照明領域よりも広い領域を照明する照明装置において、前記照明領域の前記物体に対する相対的な変位量に応じて、前記照明領域の強度分布の形状を変える強度分布形状可変手段を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521