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J-GLOBAL ID：200903046477844338

ドライエッチング方法

Inventor： 河本 滋
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994322659
Publication number (International publication number)：1996176851
Application date： Dec. 26, 1994
Publication date： Jul. 09, 1996
Summary：

【要約】【構成】エッチングガスとしてのハロゲンを、固体ハロゲン化合物(ZnCl2)3の蒸気6として供給する。【効果】エッチングガス供給源が固体であるため、従来のように毒性・腐食性をもつハロゲンを気体のまま供給源として用いる場合に比べ、取扱い時の人体への危険性が大幅に低減される。また、固体ハロゲン化合物はドライエッチング装置内に設置して用いることができるため、ガス管を要せず、装置構成が簡素化される。

Claim (excerpt)：

真空槽内で固体ハロゲン化合物を加熱し発生した蒸気の分子線を被エッチング試料に照射してエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。

IPC (3)：

C23F 1/12 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/302

FI (3)：

H01L 21/302 F ,  H01L 21/302 N ,  H01L 21/302 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-270830
  
• 特開平2-230719