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J-GLOBAL ID：200903046504831871

走査型探針顕微鏡および多重情報再生装置

Inventor： 加道 博行 ,  楠本 修 ,  任田 隆夫 ,  山本 伸一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993090294
Publication number (International publication number)：1994300514
Application date： Apr. 16, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、探針および試料を損傷することなく高速走査が可能な走査型探針顕微鏡とその技術を応用した多重情報再生装置を提供することを目的とする。【構成】 基体3の表面が絶縁体4で被覆されている探針1を、カンチレバー2の先端部に設け、探針1を試料5の表面に接触させた状態で、3次元微動機構6により試料5の表面に沿って走査し、探針1と試料5との間にバイアス電圧を印加し、流れる電流を検出する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーと、前記カンチレバーの先端部に設けられ、その基体部分が金属または半導体からなり、前記基体部分の表面に絶縁層が被覆された探針と、前記探針を試料の表面に接触させた状態で前記探針を前記試料の表面に沿って走査する手段と、前記探針と前記試料との間にバイアス電圧を印加し流れる電流を検出する手段とを具備する走査型探針顕微鏡。

IPC (4)：

G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28