多層折り返し共鳴キャビティを有する超短パルスレーザ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山崎行造 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998550343
Publication number (International publication number)：2001525999
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Dec. 11, 2001
Summary：

【要約】フェムトセコンド範囲のパルス長を有する短出力パルスを提供する超速レーザは共鳴キャビティを折り返してその全長を短縮するための複数の折り返しミラー(18,20,22,29)を含む共鳴キャビティを含む。折り返しミラーの各々はイオンビームスパッターで約0.5ナノメーターRMS未満の表面荒さを有する基体上に析出させた複数の層を含む。折り返しミラーの一つ又はこれ以上のミラーはレーザが500フェムトセコンド未満の長さを有するパルスのパルスモードで作動するよう負-群-速度-分散ミラーを有することができる。

Claim (excerpt)：

レーザ装置にして、レーザ光のための共鳴キャビティを形成する第1及び第2端部ミラーと、前記共鳴キャビティ中に位置するレーザ利得媒体と、前記共鳴キャビティ中に位置して前記第1及び第2端部ミラーと協働するよう整合した少なくとも二つの折り返しミラーにして、前記共鳴キャビティ中で循環するレーザ光が前記折り返しミラーにより該折り返しミラー同士間のジグザグ経路で反射する、前記少なくとも二つの折り返しミラーと、を含み、前記折り返しミラーの各々は99.97%又はこれ以上の反射力を有することを特徴とする前記レーザ装置。

IPC (2)：

H01S 3/081 , G02B 5/08

FI (2)：

H01S 3/081 , G02B 5/08 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

反射型帯域フィルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-127599 Applicant：株式会社ニコン

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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