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J-GLOBAL ID：200903046538624212
赤外線センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993033746
Publication number (International publication number)：1994194229
Application date： Feb. 23, 1993
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 フィルタ装着に伴うコストアップの招来が避けられ、しかも、減圧や低熱伝導性ガス封入可能な信頼性の高いパッケージ封止法が使われる場合にも損傷しないフィルタを備えた赤外線センサを提供する。【構成】 この発明の赤外線センサは、赤外線吸収膜16を赤外線入射側に備え、赤外線の吸収に伴い前記赤外線吸収膜に生じた熱で起こる温度変化を利用して赤外線検出を行う熱型の赤外線検出部2がパッケージ内に収容されているとともに、パッケージ部材に装着されたフィルタ72を備え、このフィルタを介して赤外線がパッケージ外から赤外線吸収膜に入射するようになっている赤外線センサにおいて、前記フィルタとして、反射防止膜72aのみがシリコン基板の少なくとも片面に設けられてなるフィルタが用いられていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
赤外線吸収膜を赤外線入射側に備え、赤外線の吸収に伴い前記赤外線吸収膜に生じた熱で起こる温度変化を利用して赤外線検出を行う熱型の赤外線検出部がパッケージ内に収容されているとともに、パッケージ部材に装着されたフィルタを備え、このフィルタを介して前記赤外線がパッケージ外から前記赤外線吸収膜に入射するようになっている赤外線センサにおいて、前記フィルタとして、反射防止膜のみがシリコン基板の少なくとも片面に設けられてなるフィルタが用いられていることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3)：
G01J 1/04
, G01J 1/02
, G01J 5/02
Cited by examiner (8)
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